随着现代科技的发展，电力传输、气象监测和生物医药等领域对于高性能电场传感器的需求不断增加。本篇论文研究了基于模态局域化原理的双端音叉弱耦合谐振式电场传感器。模态局域化效应是指当谐振器结构失谐时，弱耦合连接的多个谐振器阵列能量分布剧烈变化，可以通过检测振幅比变化实现高灵敏度传感。双端音叉结构的谐振器能够降低振动时的热损耗，提升质量因子和信噪比。通过理论分析、有限元仿真和实验证明了振幅比输出的双端音叉弱耦合谐振器的相对灵敏度是频率输出的285倍。传感器采用SOI工艺制造具有较好的兼容性，分辨率达到了21.3V/m并且灵敏度为0.016/(kV/m)。双端音叉弱耦合谐振式电场传感器的灵敏度和分辨率显著提高，能够满足更加苛刻的监测要求，在电力传输、气象监测和生物医药等领域有广大的应用空间。

静电传感；模态局域化；双端音叉；弱耦合谐振器