多频激励MEMS电场传感器动态性能表征
编号：22
稿件编号：49 访问权限：仅限参会人
更新：2025-09-11 22:27:27
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张贴报告
报告开始：2025年09月20日 16:20 （Asia/Shanghai）
报告时间：20min
所在会议：[S8] 张贴报告 » [S8] 张贴报告
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摘要
微机电系统（Micro-electro-mechanical Systems, MEMS）电场传感器具有体积小、重量轻、功耗低、易集成、可批量化制备等多种等优势，在航空、航天、国防、静电、雷电及石油石化等领域具有重要应用价值。传统谐振式电场敏感结构在单一模态上产生谐振，聚焦于单频激励模式下的性能表征。本文突破传统方法，提出了采用双频混叠激励信号驱动方法，研究在混频条件下传感器的动态响应特性。实验表明，在± 29.4 kV/m电场范围内，传感器线性度为1%，三阶模态灵敏度为0.054 mV/(kV/m)，分辨力为6.67 V/m·√Hz
，幅频特性曲线峰值较单频激励提升了43%。
，幅频特性曲线峰值较单频激励提升了43%。关键字
微机电系统；电场传感器；谐振器；谐振模态；动态性能
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